ผลิตภัณฑ์ทั้งหมด
ตัวกรองโลหะขนาด 1μm สำหรับการทำความบริสุทธิ์ก๊าซในกระบวนการผลิตเซมิคอนดักเตอร์ --- การผลิตแผ่นเวเฟอร์พร้อมการควบคุม AMC
ติดต่อฉันเพื่อรับตัวอย่างและคูปองฟรี
วอทส์แอพ:0086 18588475571
วีแชท: 0086 18588475571
สไกป์: sales10@aixton.com
หากคุณมีข้อสงสัย เราพร้อมให้ความช่วยเหลือทางออนไลน์ตลอด 24 ชั่วโมง
xรายละเอียดสินค้า
| ความยาว | 80-100um | Packing | flexible |
|---|---|---|---|
| Application | Semi-conductor Gas Filter/High Purity Gas Filters Solution | วัสดุ | สแตนเลส 316L/Hastelloy C22/C59/นิกเกิล 200 |
| กว้าง | 1um/1.5um/2um |
รายละเอียดสินค้า
ธาตุกรองโลหะ 1μmขนาดนาโน)สําหรับการทําความสะอาดก๊าซกระบวนการครึ่งประสาท
ประเภทสินค้า: สายใยสั้นจากสแตนเลส ultrafine 316L
กว้างเส้นใย: 1um / 1.5um / 2um มี
ความยาวตัด: 80-100um
องค์ประกอบทางเคมีของวัสดุแท้ ((Wt%)
|
ธาตุ |
C |
ใช่ |
Mn
|
นี
|
Cr
|
โม
|
S
|
P
|
|
มาตรฐาน
|
≤0.03
|
≤ 1.00
|
≤ 200
|
10 ~ 14
|
16 ~ 18
|
2 ~ 3
|
≤0.03
|
≤0.045
|
|
มูลค่า
|
0.028
|
0.56
|
0.5
|
10.85
|
16.97
|
2.1
|
0.003
|
0.027
|
ในการผลิตครึ่งประสาท การรักษาก๊าซกระบวนการความบริสุทธิ์ที่สูงสุดเป็นสิ่งสําคัญในการป้องกันความบกพร่องและรับประกันผลผลิตสูงสื่อกรองโลหะมีบทบาทสําคัญในการทําความสะอาดก๊าซ โดยการกําจัดสารปนเปื้อนของอนุภาค และยังช่วยควบคุมการปนเปื้อนด้วยโมเลกุลในอากาศ (AMC)ซึ่งเป็นสิ่งจําเป็นสําหรับการผลิตโวฟเฟอร์ที่ทันสมัย.
คุณลักษณะและประโยชน์สําคัญ
การกรองประสิทธิภาพสูง (1μm Retention)
จับอนุภาคขนาดต่ํากว่าไมครอน ที่อาจทําให้เกิดอาการบกพร่องในกระบวนการถ่ายภาพ, การฉลากและการฝัง
ลดความเสี่ยงของการปนเปื้อนผิวของแผ่น และเพิ่มผลผลิต
ไม่ใช้สารเคมีและทนทานต่อการกัดกร่อน
ผลิตจากสารความบริสุทธิ์สูงสแตนเลส (316L) นิเคิล หรือสแตนเลสซินเตอร์เพื่อความเข้ากันได้กับก๊าซที่รุนแรง (เช่น HF, HCl, NH3)
ทนต่อการออกก๊าซ ป้องกันการติดเชื้อเพิ่มเติม
ความสามารถในการควบคุม AMC
เครื่องกรองโลหะที่มีความทันสมัยบางส่วนรวมการบํารุงผิวหรือเคลือบ(ตัวอย่างเช่น การ passivation, electropolishing) เพื่อลดการซึมซับ/การลดการซึมซับของสารอินทรีย์ลอยหรือกรดให้น้อยที่สุด
ช่วยให้พบกันSEMI F21 AMC ประเภท 1ความต้องการสําหรับกระบวนการที่มีความรู้สึก เช่น EUV lithography
ความทนทานต่ออุณหภูมิสูงและความดัน
การทํางานที่มั่นคงในสภาพที่ยากลําบาก (สูงถึง 500 °C หรือสูงกว่าสําหรับสกัดบางชนิด)
เหมาะสําหรับCVD, การกระจายและการฝังไอออนสายไฟแก๊ส
อายุการใช้งานยาวนานและสะอาดได้
สามารถนําไปใช้ได้อีกครั้งหลังจากทําความสะอาด (อุลกระตรอง, เคมี, หรือวิธีความร้อน) ลดต้นทุนการครอบครอง
การออกแบบการลดความดันต่ําเพื่อการไหลของก๊าซที่ประหยัดพลังงาน
การใช้งานในงานผลิตครึ่งตัวนํา
การจัดส่งก๊าซความบริสุทธิ์สูงสุด (UHP)(N2, Ar, H2, O2, ฯลฯ)
กระบวนการ etch & การฝาก(CVD PVD ALD)
โฟโตลิโตกราฟี(สภาพแวดล้อม EUV/DUV ที่มีความรู้สึกต่อ AMC)
การกรองก๊าซและจุดใช้งาน (PoU)
ทําไม ต้อง ใช้ เครื่อง กํา filter เหล็ก แทน ที่ จะ ใช้ เครื่อง กํา filter แทน?
ความทนทานสูงกว่าvs เครื่องกรองพอลิมเลอร์ (ที่สามารถทําลายและปล่อยอนุภาคได้)
ไม่มีเส้นใยตกไม่เหมือนกับกรอง HEPA/ULPA แบบดั้งเดิม
การลดระดับ AMC ที่ดีขึ้นเมื่อเทียบกับเครื่องกรองอนุภาคมาตรฐาน
ความสอดคล้องและมาตรฐาน
SEMI F20(การควบคุมอนุภาค)
SEMI F21(ระดับ AMC)
ISO 14644-1(มาตรฐานห้องสะอาด)
สรุป
สื่อกรองโลหะ 1μmเป็นสารแก้ไขที่แข็งแรงสําหรับการทําความสะอาดก๊าซครึ่งประสาทการกรองอนุภาค การควบคุม AMC และความทนทานต่อสารเคมีเพื่อตอบโจทย์ความต้องการที่เข้มงวดของการผลิตแผ่นแผ่นวอล์ฟที่ทันสมัย
แนะนำผลิตภัณฑ์
